特許
J-GLOBAL ID：200903058269931560
振動子とその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201996
公開番号（公開出願番号）：特開平8-065077
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 本発明は振動子に関するもので、特性劣化を防止するものである。【構成】 振動板1は、第1,第2のカバー2,3による挟持部内方に舌片状の振動部7を有し、この振動部7の表、裏面には励振用電極8を形成した。また振動部7の先端側はプラスX方向としたものである。
請求項（抜粋）：
振動板と、この振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振動板の外周部を挟持した第1,第2のカバーとを備え、前記振動板は、前記第1,第2のカバーによる挟持部内方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には励振用電極を設けるとともに、この振動部の外周部にはエッチング液によるエッチング面を形成し、かつこの舌片状の振動部はその先端側がプラスX方向となっている振動子。
IPC (3件)：
H03H 3/02
, H03H 9/05
, H03H 9/19
