特許
J-GLOBAL ID：200903058283494873
シェアリング干渉方法およびラジアルシェア素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-213418
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034335
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 1状態の干渉測定により三次元の波面形状を高精度で短時間に測定する。【構成】 楕円体の焦点F1 に集光させた被検光束3を楕円体の表面1で反射させた光束4と、楕円体の中心を通り且つ長軸と直交する振幅分割面2により被検光束3を反射させた光束5とを干渉させて、被検光束3の波面形状を測定する。
請求項（抜粋）：
楕円体の焦点に集光させた被検光束を当該楕円体の表面で反射させた光束と、前記楕円体の中心を通り且つその長軸と直交する振幅分割面により前記被検光束を反射させた光束とを干渉させることを特徴とするシェアリング干渉方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G01M 11/00
