特許
J-GLOBAL ID：200903058291771681
光学系の圧電素子による振動制御機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284694
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146334
出願日： 1994年11月18日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 走査ミラーを備えた振動系において,温度環境等に左右されず,振動機構系を安定且つ正確に動作させることができる圧電素子による振動制御機構を提供する。【構成】 走査ミラー振動制御機構は,筐体3に取付られた走査ミラー1及び前記走査ミラー1の両端を保持するねじりバネ2を備えた振動系を備えている。また,前記ねじりバネ2の張力を可変させることで前記振動系の周期を可変する圧電素子7を備えた周期可変手段とを備えている。また,振動制御機構は,この走査ミラー振動制御構と,前記走査ミラー1に取り付けられたエンコーダ11と,前記エンコーダ11からのデジタル信号を波形整形部23とD/A変換器24とを介してアナログの信号に変換し,このアナログ信号と,予め定められた基準となる基準信号との位相を比較する位相比較器25とを備えている。この圧電素子7を制御することで,前記振動系の周期を安定化する。
請求項（抜粋）：
筐体に取付られた走査ミラー及び前記走査ミラーの両端を保持するねじりバネを備えた振動系と,前記ねじりバネの張力を可変させることで前記振動系の周期を可変する圧電素子を備えた周期可変手段とを備えていることを特徴とする走査ミラー振動制御機構。
IPC (3件)：
G02B 26/10 104
, G02B 26/10
, H02N 2/00
