高感度表面多元素同時質量分析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢葺知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065921
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280752
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】本発明は、飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)とレーザを組み合わせたレーザポストイオン化TOF-SNMSにおいて、高い検出効率を保持したまま全被測定元素を高感度に再現性良く検出する方法を提供する。【構成】レーザポストイオン化TOF-SNMSで高検出効率を得る場合、中性粒子を試料表面から発生させるパルスイオンビームとその中性粒子をイオン化するパルスレーザとの間には被測定元素ごとにそれぞれ最適な同期条件が存在する。被測定元素それぞれの最適条件をスパッタ粒子の運動エネルギーのピークを仮定して見積り、両パルス間の同期条件を制御することにより決定し、スパッタ中性粒子質量分析を行なう。又、スパッタ粒子の全エネルギー範囲でその信号強度を積算することで、試料の化学状態に依存しない再現性の高い測定を行なう。

請求項（抜粋）：

パルスイオンビームを試料表面に照射し発生した中性粒子をレーザビームでポストイオン化して質量分析する方法において、パルスイオンビームのパルスとレーザビームのパルスの時間差を被測定元素ごとに信号強度が最大になるように設定することを特徴とする高感度表面多元素同時質量分析方法。

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