特許

J-GLOBAL ID：200903058302200029

IC試験装置

発明者： 須貝 昌郎
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053866
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265594
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】 DUTボード診断機能をもたせる。【構成】 この発明の診断装置には、スキャナーモジュール11,DUTボード診断回路ソニット12及びそれらの間を結ぶ接続コード13が設けられる。スキャナーモジュール11は、DUTの複数のピンと対応するピン11aが導出され、それらのピンをDUTソケット5に着脱自在に嵌合可能とされ、ピン11aを選択するスキャナー回路を内蔵している。前記ユニット12は、スキャナーモジュール11を介してDUTソケット5の各端子及びその端子に接続されたIC周辺回路6に試験信号を印加する回路16と、その各端子に発生した信号を測定する回路17と、前記スキャナー回路を制御する回路18を有し、テストヘッド3内に実装される。DUTボード4の診断は、DUTの代わりにスキャナーモジュール11をDUTソケット5に嵌合させて行われる。

請求項（抜粋）：

メインフレームと、そのメインフレームにケーブルで接続されたテストヘッドと、そのテストヘッド上に装着され、DUT(Device Under Test) ソケット及びIC周辺回路を実装したDUTボードとより成るIC試験装置において、被試験ICの複数のピンとそれぞれ対応するピンが導出され、それらの導出されたピンを選択するスキャナー回路を内蔵し、前記DUTソケットに着脱自在に嵌合されるスキャナーモジュールと、前記スキャナーモジュールを介して前記DUTソケットの各端子及びその端子に接続された前記IC周辺回路に試験信号を印加する回路と、その試験信号の印加により前記各端子に発生した信号を測定する回路と、前記スキャナー回路を制御する回路とを有し、前記テストヘッド内に実装されるDUTボード診断回路ユニットと、そのDUTボード診断回路ユニットと、前記スキャナーモジュールとを接続するコードとを具備することを特徴とする、IC試験装置。