特許

J-GLOBAL ID：200903058302523758

超音波振動測定方法

発明者： 小川 岳夫 ,  鈴木 紀生 ,  高松 弘行 ,  新井 明男 ,  柳井 敏志 ,  赤松 勝 ,  森本 勉
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-080406
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294777
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】 超音波発生点と検出点とを同一面としても試料の表面の状態の影響を受けるおそれのない超音波振動測定方法。【構成】 大出力パルスレーザ発振器1からのパルスレーザの照射により試料3に超音波振動を誘起すると共に,試料3のパルスレーザ光の照射部分に照射されるCWレーザ発振器4からのレーザ光の試料3での反射光をファブリペロー干渉計12を用いて検出し,検出データに基づいて試料3の超音波振動を測定器17により測定する際に,試料3への反射光を分割ミラー19により二分割し,一方を干渉計12を経由させてフォトダイオード20により検出すると共に,他方を干渉計12を経由させずにフォトダイオード20により検出し,両検出データを比較することによって試料3の超音波振動を測定するように構成されている。上記構成により試料の表面の状態の影響を受けるおそれのない超音波振動測定を行うことができる。

請求項（抜粋）：

励起光の照射により試料に超音波振動を誘起すると共に,上記試料の励起光の照射部分に照射される測定用の放射光の該試料での反射光を光干渉計を用いて検出し,該検出データに基づいて上記試料の超音波振動を測定する超音波振動測定方法において,上記試料での反射光を二分割し,該分割された反射光の一方を上記光干渉計を経由させて検出すると共に,他方を上記光干渉計を経由させずに検出し,両検出データを比較することによって上記試料の超音波振動を測定してなることを特徴とする超音波振動測定方法。