特許

J-GLOBAL ID：200903058305140302

マスク及びそれを用いた有機EL表示素子の製造方法

発明者： 門 昌 輝
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-299219
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110345
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】【課題】 簡易なプロセスにより高歩留まりでかつ高精細な有機EL表示素子を実現する、マスク及びそれを用いた有機EL表示素子の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 有機発光層7R、7G、7Bを積層させるときに、ストライプ状シャドウマスクを使用する。そして、レーザ光を照射して有機発光層7R、7G、7Bを各画素毎に切断する。従来のように、微細加工が困難な格子状シャドウマスクを用いた場合には実現できなかった高精細な表示品位を、加工が容易なストライプ状シャドウマスクを用いることにより実現することができる。

請求項（抜粋）：

外枠と、前記外枠の内側において、一方向に延在し両端を前記外枠により支持された状態で、相互に所定間隔を空けて設けられた複数の金属片と、を備えることを特徴とするマスク。

IPC (7件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  C23C 14/12 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14

FI (7件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  C23C 14/12 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 Z ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A

Fターム (35件)：

3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029GA00 ,  4K029HA03 ,  5C094AA05 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA12 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA13 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094ED15 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10