特許

J-GLOBAL ID：200903058308375203

オゾン濃度測定方法と装置

発明者： 加美野 東生 ,  清水 通俊 ,  山城 利勝 ,  森本 冠 ,  辻畑 辰雄
出願人/特許権者： 新光産業株式会社 ,  株式会社ニッショー機工 ,  株式会社兼清電子 ,  株式会社ミック ,  辻畑 辰雄
代理人 (1件)： 吉村 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265574
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098291
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 オゾンガス濃度を簡単なシステムで、連続して正確に測定できるオゾン濃度測定方法と装置を提供する。【構成】 オゾン含有ガスと酸素ガスを、オゾン分解触媒に交互に接触させて、該オゾン分解触媒による上記オゾン含有ガス中のオゾンの分解反応熱温度と、該オゾン含有ガスの未分解時の温度を検出し、該両検出温度の温度差によりオゾンガス濃度を測定する構成よりなる。

請求項（抜粋）：

オゾン含有ガスと酸素ガスを、オゾン分解触媒に交互に接触させて、該オゾン分解触媒による上記オゾン含有ガス中のオゾンの分解反応熱温度と、該オゾン含有ガスの未分解時の温度を検出し、該両検出温度の温度差によりオゾンガス濃度を測定することを特徴とするオゾン濃度測定方法。