特許
J-GLOBAL ID：200903058308794958
位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-029531
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241726
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成のヘテロダイン干渉法を用いた位置検出装置を提供する。【構成】 白色光源10からの光束L0 を音響光学変調素子(AOM)17に、AOM17内の進行波の波面に平行に入射させ、AOM17のラマン-ナス回折により光軸に対称に発生する2つの光束L0(1),L0(-1) を、リレー光学系18a,18b及びリレー光学系26,27等を介してビームスプリッター28に導く。ビームスプリッター28を透過した2つの光束を対物レンズ38を介してレチクル1上の回折格子マークRMに照射し、回折格子マークRMの近傍の窓部を通過した2光束を投影対物レンズ3を介してウエハ上の回折格子マークWMに照射する。
請求項（抜粋）：
互いに周波数が異なる2光束を生成する2光束生成手段と、該2光束生成手段からの2光束を集光して被検物上に形成された回折格子に対して前記2光束を所定の2方向から照射する対物光学系と、前記回折格子から発生する回折光同士を前記対物光学系を介して光電的に検出する検出器とを有し、前記被検物の位置を検出する位置検出装置において、前記2光束生成手段は、単一の波長又は複数の波長の光束を供給する光源手段と、該光源手段から供給される光束を回折及び変調させる進行波を利用して、前記光源手段からの光束より所定の周波数差を有する2光束を生成する周波数差生成手段とを有し、前記光源手段から前記周波数差生成手段に対して供給される光束を前記進行波の波面に対して平行に入射させ、前記進行波により生成されるそれぞれ異なる周波数を持つ別の次数の2つの回折光を前記対物光学系へ導く構成とした事を特徴とする位置検出装置。
引用特許：
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