特許
J-GLOBAL ID：200903058309094046
ガラス基板の片面研磨装置に用いるバックパッドおよびその表面凹凸の矯正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-252623
公開番号（公開出願番号）：特開2004-090124
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】ガラス基板の表面を研磨する片面研磨工程において、研磨後のガラス基板の研磨面に凹凸、即ち研磨ムラが発生することを防止する。【解決手段】多孔質樹脂製の発泡シートからなるバックパッド1により保持したガラス基板を回転する研磨盤上の研磨布4に加圧定盤5で押圧して、板状体表面を研磨する片面研磨装置に使用するバックパッド1の表面凹凸の矯正方法であって、該片面研磨装置で加圧定盤5の下面側に貼着したバックパッド1に矯正板2の平滑な面を密着固定して矯正板2のもう片方の面を研磨することで、矯正板2の平滑な面の平滑性を転写させてバックパッド表面1を均一に平滑にすることを特徴とするバックパッド1の表面凹凸の矯正方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
多孔質樹脂製の発泡シートよりなるバックパッドによって保持したガラス基板を回転する研磨盤上の研磨布に加圧定盤にて押圧して、ガラス基板表面を研磨する片面研磨装置に使用するバックパッドであって、該片面研磨装置で加圧定盤の下面側に貼着したバックパッドに矯正板の平滑な面を密着させて保持して矯正板のもう片方の面を研磨することで、矯正板の平滑な面の平滑性が転写されてバックパッド表面が平滑にされてなることを特徴とするバックパッド。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
3C058AA12
, 3C058CA06
, 3C058CB01
