特許
J-GLOBAL ID:200903058314600774

制振システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉谷 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-084592
公開番号(公開出願番号):特開平5-248489
出願日: 1992年03月05日
公開日(公表日): 1993年09月24日
要約:
【要約】【目的】 地震などに起因する大きな震動、ならびに、歩行等に起因する微振動や、装置載置台上の機器によって加えられる振動などによって装置載置台が振動することを、装置載置台を大型化せずに良好に防止する。【構成】 装置載置台3を空気バネ1および粘性ダンパー2を介して床Wに保持するとともに、装置載置台3と床Wとの間に、装置載置台3に制御力を付与してその振動を打ち消す制振用アクチュエータ4を設け、装置載置台3に第1の振動センサー5aを設けるとともに、第1の振動センサー5aからの情報をもとに、装置載置台3上の機器から加えられる高振動数域の振動を吸収するために付加する質量に相当する制御量を変更調整可能に加えて制振用アクチュエータ4で出力する制御力を算出する演算手段と、その演算手段で算出された制御力に対応する駆動力を制振用アクチュエータ4に出力する駆動回路とを設ける。
請求項(抜粋):
装置載置台を支持バネおよび粘性ダンパーを介して床またはそれに一体の部材に保持するとともに、前記装置載置台と前記床またはそれに一体の部材との間に、前記装置載置台に制御力を付与してその振動を打ち消す制振用アクチュエータを設け、前記装置載置台に振動センサーを設けるとともに、前記振動センサーからの情報をもとに、前記制振用アクチュエータで出力する制御力を算出する演算手段と、その演算手段で算出された制御力に対応する駆動力を前記制振用アクチュエータに出力する駆動回路とを設けた制振システムであって、前記演算手段において、前記装置載置台上の機器から加えられる高振動数域の振動を吸収するために付加する質量に相当する制御量を変更調整可能に加えて制御力を算出することを特徴とする制振システム。
IPC (2件):
F16F 15/02 ,  G05D 19/02
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開平3-219140
  • 特開昭53-059167
  • 特開昭55-109809

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