特許

J-GLOBAL ID：200903058319204761

硫化物発光層の製造方法および製造装置

発明者： 矢野 義彦
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-007338
公開番号（公開出願番号）：特開2001-192813
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
要約：

【要約】【課題】 不純物が少なく、発光中心の添加量を実用レベルで制御できるSrS系発光層の製造方法、および製造装置を提供する。【解決手段】 蒸着法により形成する硫化物発光層であって、少なくともストロンチウム蒸発源と、発光中心が添加された硫化亜鉛蒸発源とを有し、これらの蒸発源の各々からストロンチウムおよび硫化亜鉛原料を蒸発させ、基板上に堆積する際にそれぞれの原料物質を結合させて硫化物発光層を得る構成の硫化物発光層の製造方法、および製造装置とした。

請求項（抜粋）：

蒸着法により形成する硫化物発光層の製造方法であって、少なくともストロンチウム蒸発源と、発光中心が添加された硫化亜鉛蒸発源とを有し、これらの蒸発源の各々からストロンチウムおよび硫化亜鉛原料を蒸発させ、基板上に堆積する際にそれぞれの原料物質を結合させて硫化物発光層を得る硫化物発光層の製造方法。

IPC (6件)：

C23C 14/24 ,  C09K 11/08 ,  C09K 11/56 CPC ,  C23C 14/06 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (7件)：

C23C 14/24 E ,  C23C 14/24 C ,  C09K 11/08 A ,  C09K 11/56 CPC ,  C23C 14/06 D ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 Z

Fターム (35件)：

3K007AB02 ,  3K007AB03 ,  3K007AB04 ,  3K007AB15 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CA02 ,  3K007CA04 ,  3K007CB01 ,  3K007DA05 ,  3K007DB01 ,  3K007DB02 ,  3K007DC01 ,  3K007DC04 ,  3K007EA04 ,  3K007EC01 ,  3K007EC02 ,  3K007EC03 ,  3K007EC04 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4H001CF01 ,  4H001XA16 ,  4H001XA38 ,  4H001YA58 ,  4K029AA24 ,  4K029BA02 ,  4K029BA51 ,  4K029BB02 ,  4K029CA02 ,  4K029DB03 ,  4K029DB05 ,  4K029EA08 ,  4K029JA08