特許

J-GLOBAL ID：200903058321182945

薄板状部材の吸着装置

発明者： 重野 昭浩
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-211435
公開番号（公開出願番号）：特開2004-055833
出願日： 2002年07月19日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】半導体ウェーハのような薄くて大きく、しかも凸面または凹面に反っていても安定に吸着して保持する薄板状部材の吸着装置を提供する。【解決手段】ハウジング1は、上壁11を有する筒状になっており、弾性部材2は、盤状をなしており、中央部が連通性のスポンジ21からなり、周側部が気密可能な可撓性の周側膜22で封孔され、下面部が薄板状部材4に当接する通気性のパッド23をなし、ハウジングに格子板12を介した中空部13を残して気密可能に緊合しており、減圧管路21は、一端が上壁に開口し、他端が排気系に接続されており、弾性部材は、パッドが薄板状部材の表面に倣って気密可能に当接し、中空部が減圧すると縮退しながら薄板状部材を吸着保持するように構成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ハウジングと、弾性部材と、減圧管路とを有し、 該ハウジングは、上壁を有する筒状になっており、 該弾性部材は、盤状をなしており、中央部が連通性のスポンジからなり、周側部が気密可能な可撓性の周側膜で封孔され、下面部が薄板状部材に当接する通気性のパッドをなし、該ハウジングに格子板を介した中空部を残して気密可能に緊合しており、 該減圧管路は、一端が該上壁に開口し、他端が排気系に接続されており、 該弾性部材は、パッドが薄板状部材の表面に倣って気密可能に当接し、中空部が減圧すると縮退しながら該薄板状部材を吸着保持する ことを特徴とする薄板状部材の吸着装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B25J15/06 ,  B65G49/07

FI (4件)：

H01L21/68 B ,  B25J15/06 K ,  B25J15/06 N ,  B65G49/07 G

Fターム (20件)：

3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT06 ,  3C007FT08 ,  3C007FU00 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA32 ,  5F031GA45 ,  5F031MA22 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18