ポジ型感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-277377
公開番号（公開出願番号）：特開2001-092138
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】膜厚が10μmを越える厚膜の場合においても高感度、高コントラストであり、かつ優れた解像性を示すポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (a)アルカリ水可溶性ポリアミドと、(b)下記一般式(2)で表される感光性ジアゾキノン化合物を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(Zは4価の有機基、R1〜R4は1価の有機基、kは0又は1、r〜uは0又は1〜3、Qのうち1個はナフトキノンジアジドスルホン酸基、残りは水素。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で示される繰返し単位を有するポリアミド100重量部と、【化1】(式中X1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2〜4価の有機基、Y1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2〜6価の有機基、p、qは0または1〜4の整数、R1は水素、または炭素数1〜20までの有機基であり、p、q共に0の場合フェノール性水酸基を少なくとも1つ有する、nは2〜1000までの整数、mは0または1〜2の整数、ただしm、p、qが同時に0であることはない。)(b)下記一般式(2)で表される感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物。【化2】(式中Zは4価の有機基、R1、R2、R3、R4は1価の有機基、kは0または1、r、s、t、uは0または1〜3の整数、Qのうち少なくとも1個は下記で示される基であり残りは水素原子である。)【化3】

IPC (6件)：

G03F 7/039 , C08K 5/23 , C08L 77/06 , G03F 7/022 601 , G03F 7/037 501 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/039 , C08K 5/23 , C08L 77/06 , G03F 7/022 601 , G03F 7/037 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (20件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AC06 , 2H025AC07 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB45 , 2H025CB55 , 2H025FA17 , 2H025FA19 , 4J002CL031 , 4J002EE056 , 4J002EQ016 , 4J002FD206 , 4J002GP03

引用特許：

審査官引用 (11件)

感光性ポリイミド前駆体組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-198425 出願人：東レ株式会社
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-095934 出願人：チッソ株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-236711 出願人：住友ベークライト株式会社

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