特許
J-GLOBAL ID：200903058326468243
磁気記録媒体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-197359
公開番号（公開出願番号）：特開平8-045073
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 高密度磁気記録に適し、変調ノイズが小く、耐久性に優れ、しかも、余分な製造工程を必要とすることなく、基板材料に制約されることのない安価な磁気記録媒体を提供する。【構成】 所定温度に加熱した非磁性基板6上に非磁性絶縁体及び強磁性体から成る複合磁性層をスパッタリング法により形成する磁気記録媒体の製造方法であり、スパッタリングガスとして導入口11よりNeガスを導入し、非磁性絶縁体及び強磁性体から成る複合タ-ゲット4に高周波電源2より高周波電力を印加すると共に、非磁性基板6にバイアス用高周波電源9よりバイアス高周波電力を印加し、高熱処理の後工程を必要とすることなく複合磁性層を形成する製造方法である。
請求項（抜粋）：
所定温度に加熱した非磁性基板上に非磁性絶縁体及び強磁性体から成る複合磁性層をスパッタリング法により形成する磁気記録媒体の製造方法において、スパッタリングガスとしてNeガスを用い、前記非磁性絶縁体及び強磁性体から成る複合タ-ゲットに高周波電力を印加すると共に、前記非磁性基板にバイアス高周波電力を印加して前記複合磁性層を形成するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (4件)：
G11B 5/85
, C23C 14/34
, H01F 10/08
, H01F 41/18
