特許
J-GLOBAL ID:200903058334532287
プラズマディスプレイパネル、及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
稲垣 清
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-326912
公開番号(公開出願番号):特開2000-156151
出願日: 1998年11月17日
公開日(公表日): 2000年06月06日
要約:
【要約】【課題】 高精細カラープラズマディスプレイパネルの隔壁を、サンドブラスト法等によって、高歩留まりで形成する。【解決手段】 基板63に隔壁材料層61を、隔壁を形成する領域と概ね同等の領域に形成する。次に隔壁のレジスト隔壁パターン60の端部を隔壁材料層の形成していない領域までレジスト延長パターン62として延長する。これにより隔壁材料層の外周縁がレジスト延長パターンにより保護され、外力により削られたり変形したりすることがない。従ってその後、サンドブラスト法等によってレジストで被覆されていない不要な隔壁材料層を取り除くと、正確なプロフィールの隔壁群が得られる。
請求項(抜粋):
絶縁基板上に隔壁材料層を形成し、該隔壁材料層上に複数のレジストパターンを被覆し、該レジストパターンを利用して前記隔壁材料層の不要部分を除去ことを含んで成るプラズマディスプレイパネルの製造方法において、前記隔壁材料層の除去以前の各レジストパターンの端部を前記隔壁材料層の周縁部より外側に延長し、該延長部分で前記隔壁材料層の周縁部を保護することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
Fターム (13件):
5C027AA09
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GF02
, 5C040GF03
, 5C040GF19
, 5C040JA02
, 5C040JA17
, 5C040KA08
, 5C040MA24
, 5C040MA25
引用特許:
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