ポジ型感放射線性組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-134962
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328473
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】詳しくは解像度および感度に優れたポジ型感放射線性組成物に関する。【解決手段】 (A)フェノール性OH基がt-ブトキシカルボニル基で保護された環状ポリフェノール化合物誘導体、(B)放射線酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される化合物のフェノール性OH基がt-ブトキシカルボニル基で保護された環状ポリフェノール化合物誘導体、(B)放射線酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】[式中、R1、R2、R3およびR4は同一または異なり、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキロイルオキシ基、アリーロイルオキシ基、シアノ基またはニトロ基を表し、これらの基は置換基を有していてもよく、但しR1〜R4の少なくとも1つはt-ブトキシカルボニルオキシ基であり; Xは単結合または【化2】(ここで、R5およびR6は同一または異なり、水素原子、アルキル基またはアリール基である。)で表される2価の基であり、nは3〜8の整数である。]

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Fターム (11件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BG00 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17

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