弾性表面波デバイスの周波数調整方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-197571
公開番号（公開出願番号）：特開平8-046474
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、弾性表面波デバイスの周波数調整を効率良く行うことである。【構成】弾性表面波デバイスの周波数調整を効率良く行う為に、基板上のAl(アルミニウム)電極を陽極酸化することで、電極表面をAl2O3(アルミナ)にすると、Alに酸素が付着して重量が増加することで、周波数が下がることを利用した周波数が調整できる。この陽極酸化法による、周波数調整方法は化性液中で行うため、付着異物の影による影響は全く受けることはないので、目的を達成出来た。

請求項（抜粋）：

弾性表面波デバイスの電極を構成するアルミ電極の表面を化成液に浸させ酸化アルミ層を形成し、該化成液中にて印加する電圧によって該酸化アルミ層の厚さを変えることにより、弾性表面波デバイスの周波数調整することを特徴とする弾性表面波デバイスの周波数調整方法。

IPC (2件)：

H03H 9/10 , H03H 9/145

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭55-143813
特開昭52-099742
特開昭55-143813

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