特許
J-GLOBAL ID:200903058343564990

ボイド検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-011088
公開番号(公開出願番号):特開平8-201307
出願日: 1995年01月26日
公開日(公表日): 1996年08月09日
要約:
【要約】【目的】 ボイドを簡単な構成で正確に検出する。【構成】 被験体15に、偏光板11を介して透過光を照射しつつ、偏光板10を介してテレビカメラ7でカラー撮影し、得られた第1のカラー画像の彩度を記憶する。次に、偏光板11を角度θだけ回転させた後、被験体15をカラー撮影し、第2のカラー画像の彩度を記憶し、第1,第2のカラー画像のデータとから第1の差分を得る。次に、偏光板11を初期位置からnθだけ回転させた後、被験体15をカラー撮影し、得られた第(n+1)のカラー画像の彩度を記憶し、第n,第(n+1)のカラー画像のデータとから第nの差分を得、この第nの差分と第(n-1)の差分とを加算する処理を、偏光板11が初期位置から90 ゚回転するまで繰り返す。そして、最終的な加算結果から、しきい値より小さいカラー画像のデータの部分をボイドとして検出する。
請求項(抜粋):
薄くスライスされた透明または半透明の樹脂からなるサンプルに、初期位置に設置された第1の偏光板を介して透過光を照射しつつ、前記サンプルを第2の偏光板を介してカラー撮影し、この撮影によって得られた第1番目のカラー画像の彩度を記憶する第1の処理と、前記第1の偏光板を前記初期位置から所定角度回転させた後、前記サンプルに前記第1の偏光板を介して透過光を照射しつつ、前記サンプルを前記第2の偏光板を介してカラー撮影し、この撮影によって得られた第2番目のカラー画像の彩度を記憶し、前記第1番目のカラー画像のデータと、前記第2番目のカラー画像のデータとから第1番目の差分を得る第2の処理と、前記第1の偏光板を前記初期位置から前記所定角度のn倍の角度(nは2以上の整数)回転させた後、前記サンプルに前記第1の偏光板を介して透過光を照射しつつ、前記サンプルを前記第2の偏光板を介してカラー撮影し、この撮影によって得られた第(n+1)番目のカラー画像の彩度を記憶し、第n番目のカラー画像のデータと、前記第(n+1)番目のカラー画像のデータとから第n番目の差分を得、この第n番目の差分と第(n-1)番目の差分とを加算する第3の処理と、前記第3の処理を、前記第1の偏光板が前記初期位置から90 ゚回転するまで繰り返す第4の処理と、前記第4の処理の加算結果があらかじめ設定されたしきい値より小さいカラー画像のデータの部分をボイドとして検出する第5の処理ととからなることを特徴とするボイド検査方法。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  G01N 21/21

前のページに戻る