特許

J-GLOBAL ID：200903058343830657

角速度センサ

発明者： 持田 洋一 ,  田中 克彦 ,  森屋 和文 ,  長谷川 友保 ,  厚地 健一
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-113909
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300569
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 角速度センサ作製時に音叉振動と捩れ振動の各固有振動周波数が不一致となっても、不一致の悪影響を受けず検出精度を高いものにする。【構成】 固定枠14cの内側に捩れ振動子13を、さらにその内側に音叉振動子12を、さらにその内側に固定駆動電極18を配設する。捩れ振動子13を連結部19a,19bを介して固定枠14cに、音叉振動子12を板ばね部16a,16bを介して捩れ振動子13に連結する。板ばね部16a,16b上に振動調整手段としての圧電素子15a,15b,15c,15dを配設する。この圧電素子15a,15bに電圧を印加して歪変形させることにより音叉振動子12の固有振動周波数を調整して捩れ振動子13のそれと合うよう調整する。各振動子12,13は常に共振して、角速度センサの検出精度は高くなる。

請求項（抜粋）：

駆動入力によって振動する第1の振動子と、角速度による第1の振動子のコリオリ力を受けて振動する第2の振動子と、第1の振動子と第2の振動子の少くとも一方側の振動数を可変制御して第1の振動子と第2の振動子の固有振動周波数を合わせる振動調整手段とを有する角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭59-060210
  
• 特願平5-090857
  出願番号：特願平5-090857