特許

J-GLOBAL ID：200903058345954728

研磨材及び研磨方法

発明者： 植 田 成 生 ,  加 藤 和 彦
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-343621
公開番号（公開出願番号）：特開平9-183060
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】R<SB>a </SB><10Å、R<SB>max </SB><50Åの仕様の研磨仕上げを、1段階研磨加工で、且つ現実的な研磨時間で達成すること、及び無電解NiPメッキ層表面を1段階で短時間に研磨加工すること。【解決手段】コロイド状砥粒とアンチモン化合物とを含むことを特徴とする研磨材、該研磨材を用いて無電解NiPメッキ層表面を1段階で研磨加工する研磨方法。

請求項（抜粋）：

コロイド状砥粒とアンチモン化合物とを含むことを特徴とする研磨材。

IPC (4件)：

B24B 37/00 ,  C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  G11B 5/84

FI (4件)：

B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 E ,  C09K 3/14 550 D ,  G11B 5/84 A