特許
J-GLOBAL ID：200903058346193194
多層反射防止膜および光素子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-132535
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186104
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 広い波長帯域に亘って低反射率を確保できる多層反射防止膜と、その多層膜構造の最適化の設計手法を提供する。【解決手段】 複数種の屈折率の異なる材料からなる薄膜を積層形成した多層構造の反射防止膜であって、所要波長帯域において反射率の低い2つの谷と、その谷の間に反射率ピークを有する反射率スペクトルを持たせることで広帯域な低反射率特性を実現する。また光学アドミッタンス不整合条件を導入した有限な値を持つ反射率の計算と、その帯域評価に基づく最適化アルゴリズムにより各層の厚みを決定することで、W字形状またはU字形状の反射率スペクトルを持つ最適化された多層膜構造を得る。
請求項（抜粋）：
複数種の屈折率の異なる材料からなる薄膜を積層形成した多層構造の反射防止膜であって、所要波長帯域において反射率の低い2つの谷と、その間に反射率ピークを有する広帯域な低反射率特性を有することを特徴とする多層反射防止膜。
IPC (2件)：
G02B 1/11
, B32B 7/02 103
G02B 1/10 A
, B32B 7/02 103
