特許
J-GLOBAL ID:200903058348423057

部材接合法及びこの方法により製造した光学測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西岡 義明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-063160
公開番号(公開出願番号):特開平10-036145
出願日: 1997年03月17日
公開日(公表日): 1998年02月10日
要約:
【要約】【課題】 ガラス、石英等の材料を含め、少なくとも接合面の主成分がSi O2(二酸化シリコン)である部材同士の接合が室温でかつ簡単な工程でなし得る部材接合法及びこの部材接合法を用いることで正確な分析をなしうる光学測定装置を提供する。【解決手段】 洗浄がなされたガラス基板1a,1bを室温において適宜位置合わせを行って重ね合わせる。そして、両基板1a,1b接合界面にフッ化水素酸を含む溶液またはアルカリ溶液10を滴下することで、滴下したフッ化水素酸を含む溶液またはアルカリ溶液を界面に沿って拡散させた後、室温にて上部ガラス基板1aに荷重を加え、適当な時間放置することで、両基板が接合される。
請求項(抜粋):
少なくとも接合面の主成分がSi O2 (二酸化シリコン)である部材同士を接合する場合において、前記部材を溶解させるための溶液を接合面に介在させることを特徴とする部材接合法。
IPC (2件):
C03C 27/10 ,  G01N 21/05
FI (2件):
C03C 27/10 A ,  G01N 21/05

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