感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩見谷周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-177487
公開番号（公開出願番号）：特開2002-072477
出願日： 2000年06月13日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】各種の放射線に有効に感応し、感度および解像度に優れ、かつ長期保存安定性に優れる、ポジ型の化学増幅型多層レジストとして有用な感放射線性組成物を提供する。【解決手段】(A)窒素原子に結合した水素原子を1個または2個有するアミノ基を少なくとも一つ有する化合物の前記アミノ基が有する水素原子の1個以上がt-ブトキシカルボニル基で置換された低分子化合物、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となるシリコン原子含有樹脂を含有することを特徴とする多層レジストの上層レジスト用ポジ型感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)窒素原子に結合した水素原子を1個または2個有するアミノ基を少なくとも一つ有する化合物の前記アミノ基が有する水素原子の1個以上がt-ブトキシカルボニル基で置換された低分子化合物、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となるシリコン原子含有樹脂を含有することを特徴とする多層レジストの上層レジスト用ポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/17 , C08L101/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/075 511 , G03F 7/26 511 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/17 , C08L101/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/075 511 , G03F 7/26 511 , H01L 21/30 502 R

Fターム (57件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025DA11 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096EA04 , 2H096EA05 , 2H096EA06 , 2H096EA07 , 2H096EA08 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096JA03 , 2H096KA06 , 4J002BC101 , 4J002BG071 , 4J002BQ001 , 4J002DD007 , 4J002EN026 , 4J002EN036 , 4J002EN046 , 4J002EN066 , 4J002EN076 , 4J002EN086 , 4J002EN137 , 4J002EP016 , 4J002EQ017 , 4J002ET016 , 4J002EU026 , 4J002EU036 , 4J002EU116 , 4J002EU126 , 4J002EU136 , 4J002EU236 , 4J002EV237 , 4J002EV247 , 4J002EV257 , 4J002EV267 , 4J002EV297 , 4J002EW177

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