特許
J-GLOBAL ID：200903058353477998
プラズマディスプレイパネルの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-309589
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149767
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 PDPの製造方法に関し、製造時に保護膜を一時保護膜で覆っておき、良好な放電特性を得る。【解決手段】 前面基板と背面基板にそれぞれ電極を形成し、前面基板の電極を誘電体膜で被覆し、その誘電体膜の表面に、誘電体膜を放電から保護するための保護膜とその保護膜の表面をパネル組み立て工程までの期間一時的に保護するための一時保護膜を形成し、前面基板と背面基板とでパネルを組み立てた後、一時保護膜をプラズマエッチングにより除去する。
請求項（抜粋）：
一対の基板の少なくとも一方の基板上に電極を形成し、その電極を誘電体膜で被覆し、その誘電体膜の表面に、該誘電体膜を放電から保護するための保護膜と該保護膜の表面をパネル組み立て工程までの期間一時的に保護するための一時保護膜を形成し、該一方の基板と他方の基板とでパネルを組み立てた後、パネル内部にプラズマを発生させて前記一時保護膜を除去する工程を含んでなるプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, H01J 9/39 A
