特許

J-GLOBAL ID：200903058359006881

プラズマ分光測定装置

発明者： 菅 孝博 ,  滝政 宏章
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-068966
公開番号（公開出願番号）：特開2004-279140
出願日： 2003年03月13日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】測定対象領域外からの影響を取り除いて高精度なプラズマ分光画像を測定することが可能なプラズマ分光測定装置を提供すること。【解決手段】プラズマ発光を集光する集光光学系(1)と、前記集光光学系の焦点近傍に配置される第1の視野制限手段(2)と、前記第1の視野制限手段通過後のプラズマ発光を第1の方向においては発散させ、かつ第1の方向と直交する第2の方向においては集光させる異方性集光光学系(3)と、前記異方性集光光学系の後方に配置され、前記第1の方向にあっては場所により透過波長が異なり、かつ前記第2の方向にあっては場所によらず透過波長が一定である異方性光学フィルタ(4)と、前記異方性光学フィルタを透過した光を電気信号に変換する二次元撮像素子(5)と、を具備する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

プラズマ発光を集光する集光光学系と、 前記集光光学系の焦点近傍に配置される第1の視野制限手段と、 前記第1の視野制限手段通過後のプラズマ発光を第1の方向においては発散させ、かつ第1の方向と直交する第2の方向においては集光させる異方性集光光学系と、 前記異方性集光光学系の後方に配置され、前記第1の方向にあっては場所により透過波長が異なり、かつ前記第2の方向にあっては場所によらず透過波長が一定である異方性光学フィルタと、 前記異方性光学フィルタを透過した光を電気信号に変換する二次元撮像素子と、 を具備することを特徴とする分光測定装置。

IPC (6件)：

G01J3/443 ,  C23C16/52 ,  G01J3/26 ,  G01J3/36 ,  G02B5/28 ,  H01L21/3065

FI (6件)：

G01J3/443 ,  C23C16/52 ,  G01J3/26 ,  G01J3/36 ,  G02B5/28 ,  H01L21/302 103

Fターム (15件)：

2G020BA12 ,  2G020CA01 ,  2G020CB04 ,  2G020CC31 ,  2G020CC46 ,  2G020CC49 ,  2G020CC63 ,  2G020CD14 ,  2G020CD24 ,  2H048GA13 ,  2H048GA22 ,  2H048GA61 ,  4K030FA01 ,  4K030KA39 ,  5F004CB02