特許

J-GLOBAL ID：200903058359604746

リアルタイム蒸着モニタ装置

発明者： 林 宏優 ,  前川 俊哉
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-012870
公開番号（公開出願番号）：特開平7-216544
出願日： 1994年02月04日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 蒸着物質の蒸気ビームの空間的な密度分布をその場計測する。【構成】 板材9の板幅方向に長く形成され、蒸着しようとする物質蒸気を板幅方向に直線状に噴射して蒸着物質の蒸気ビームを発生する少くとも1個の蒸着物質蒸発源10と、蒸着物質の特定の励起スペクトル線に波長を一致させた狭帯域のレーザ光を蒸気ビーム11の垂直方向から照射するレーザ装置2と、レーザ光の照射により励起されて発光する蒸着物質の蛍光強度分布を二次表示する画像処理装置7と、アルゴンガスのレイリー散乱法を適用した蒸着物質の蛍光散乱光のその場計測による絶対値校正装置と、画像処理装置7の蛍光強度をディジタル処理して板幅方向の蒸気ビーム11の空間数密度分布を求める表示変換手段とを有する、連続走行する広幅の板材9にドライプロセスにより蒸着膜を形成する装置に使用されるリアルタイム蒸着モニタ装置。

請求項（抜粋）：

連続走行する広幅の板材にドライプロセスにより蒸着膜を形成する装置に使用されるリアルタイム蒸着モニタ装置であって、前記板材の板幅方向に長く形成され、蒸着しようとする物質蒸気を板幅方向に直線状に噴射して前記蒸着物質の蒸気ビームを発生する少くとも1個の蒸着物質蒸発源と、前記蒸着物質の特定の励起スペクトル線に波長を一致させた狭帯域のレーザ光を前記蒸気ビームの垂直方向から照射する光学装置と、前記レーザ光の照射により励起されて発光する前記蒸着物質の蛍光強度分布を二次元表示する画像処理装置と、不活性ガスのレイリー散乱法を適用した前記蒸着物質の蛍光散乱光のその場計測による絶対値校正装置と、前記画像処理装置の蛍光強度をディジタル処理して前記板幅方向の前記蒸気ビームの空間数密度分布を求める表示変換手段とを備えたことを特徴とするリアルタイム蒸着モニタ装置。