特許
J-GLOBAL ID：200903058361070503
半導体集積回路装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-257361
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082534
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 測定時に半導体集積回路の動作に影響を与えないで、半導体集積回路上の配線の電位が測定できる半導体集積回路装置を得る。【構成】 半導体集積回路上の配線1と電圧測定用パッド4との間にトランスミッションゲート6を設け、このトランスミッションゲート6を制御信号aによってオン、オフ制御し、電圧測定時のみ配線1とパッド4間を導通するようにした。【効果】 半導体集積回路の通常動作時はトランスミッションゲートをオフにし、配線1の電位を測定する時のみオンするようにしたので、半導体集積回路の通常動作時は、パッド4の寄生容量は配線1上に付加されず、この配線1の電圧波形に影響を及ぼさない。
請求項（抜粋）：
半導体集積回路上の配線と、上記配線の電位を測定するためのパッドと、上記配線と上記パッドとの間に設けられ、制御信号によってオン、オフ制御されるトランスミッションゲートとを備え、上記配線の電位を測定する際、上記トランスミッションゲートをオンにして上記パッドの電位を測定することを特徴とする半導体集積回路装置。
IPC (3件)：
G01R 31/28
, H01L 21/66
, H01L 27/04
