特許
J-GLOBAL ID：200903058363167334
精密温調方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-201992
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199657
出願日： 1999年07月15日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 ホットガスを凝縮器と再加熱器の圧力バランスに依存せずに機械的に分流し、確実に再加熱器に導入してチャンバ内を精密温調できる精密温調方法及びその装置を提供する。【解決手段】 チャンバ10内に冷凍サイクル30の蒸発器17を設置し、その蒸発器17で冷却された空調空気を再加熱して精密温調する精密温調方法において、蒸発器17の空気吹き出し口側に再加熱器18を設け、圧縮機12から凝縮器14に至るホットガスを、三方比例制御弁13にて、再加熱器18にバイパスさせて空調空気を再加熱するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
冷凍サイクルを用いて熱交換すべき流体の精密温調を行う方法において、冷凍サイクルの蒸発器の流体の出口側に再加熱器を設け、圧縮機から凝縮器に至る冷媒配管を分岐させて再加熱器を接続し、その分岐点に三方比例制御弁を設け、圧縮機からでたホットガスを凝縮器に至る前にバイパスして再加熱器に導入し、蒸発器で冷却された流体を再加熱器で加熱して温度制御することを特徴とする精密温調方法。
IPC (2件)：
F25B 29/00 411
, F24F 11/02 102
F25B 29/00 411 A
, F24F 11/02 102 F
