特許
J-GLOBAL ID:200903058369258692

微粒子分析装置およびその方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-097327
公開番号(公開出願番号):特開平10-288602
出願日: 1997年04月15日
公開日(公表日): 1998年10月27日
要約:
【要約】【課題】 飛行時間型質量分析計を用いてナノメータオーダの微粒子の粒径や粒子数、成分等を定量的に求めることができる微粒子分析装置およびその方法を提供する。【解決手段】 サンプリング装置1により引き込んだ大気雰囲気中の微粒子を荷電装置2により帯電させる。次に、荷電装置2にて帯電した個々の微粒子を微分型電気移動度分級器(DMA)3により粒径毎に分級する。このとき、微分型電気移動度分級器3により分級される微粒子の粒径を周期的に変化させる。そして、微分型電気移動度分級器3から外部へ取り出された微粒子を飛行時間型質量分析計(TOF-MS)4に順次導入して微粒子の質量分析を行うとともに、微分型電気移動度分級器3における印加電圧の掃引データに基づいて、飛行時間型質量分析計4により測定された結果を同一の粒径を有する微粒子毎に積算処理する。
請求項(抜粋):
雰囲気中に浮遊する微粒子を分析する微粒子分析装置において、雰囲気中から引き込まれた微粒子を帯電させる荷電装置と、前記荷電装置にて帯電した微粒子を粒径毎に分級する分級器と、前記分級器により分級された微粒子の成分および量を測定する質量分析計とを備え、前記分級器により分級される微粒子の粒径を周期的に変化させるとともに、前記質量分析計により測定された結果を微粒子の粒径毎に積算処理することを特徴とする微粒子分析装置。
IPC (3件):
G01N 27/68 ,  G01N 27/62 ,  G01N 27/64
FI (3件):
G01N 27/68 A ,  G01N 27/62 K ,  G01N 27/64 D

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