特許

J-GLOBAL ID：200903058369305968

大気圧下におけるプラズマを用いた表面処理方法及び装置

発明者： ゲラルディ、ニコラ ,  グーダ、ガマル ,  マシーヌ、フランソワーズ ,  ビレルメ、アラン ,  ガット、エリック
出願人/特許権者： レール・リキード-ソシエテ・アノニム・ア・ディレクトワール・エ・コンセイユ・ドゥ・スールベイランス・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード ,  ソフタル エレクトロニック エリク ブルーメンフェルト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-568100
公開番号（公開出願番号）：特表2002-524225
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
要約：

【要約】本発明は、大気圧下でのプラズマを用いた表面処理方法に係る。本発明の方法は、下記ステップを備える。処理ガスを反応室(16)の中へ導入する。反応室(16)内には、二つの励起電極(22,24)が設けられており、処理対象の表面(14)は二つの励起電極(22,24)の間に置かれている。二つの励起電極に電圧を供給し、処理ガスの中で放電(12)を発生させる。上記の供給電圧は、交流電圧であって、その振幅及び周波数は、連続する二つの半周期の間において、処理ガス成分の内の少なくとも一部を励起状態で、および/または電子が存在する状態で、維持する様に設定される。

請求項（抜粋）：

二つの励起電極に電圧を供給することによって、これらの励起電極の間にある大気圧下の初期ガスの中で、放電を発生させる方法において、 前記供給電圧は、交流電圧であって、その振幅及び周波数は、供給電圧の連続する二つの半周期の間で、前記初期ガスの成分の内の少なくとも一部を励起状態で、および/または電子が存在する状態で、維持する様に設定されることを特徴とする放電発生方法。

IPC (3件)：

B01J 19/08 ,  H01J 37/32 ,  H05H 1/46

FI (4件)：

B01J 19/08 H ,  B01J 19/08 C ,  H01J 37/32 ,  H05H 1/46 M

Fターム (16件)：

4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BC01 ,  4G075CA15 ,  4G075CA47 ,  4G075CA62 ,  4G075CA63 ,  4G075DA02 ,  4G075DA05 ,  4G075DA18 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075FB02 ,  4G075FB12 ,  4G075FC13 ,  4G075FC15