特許

J-GLOBAL ID：200903058375494780

反転装置及び露光システム

発明者： 豊田 誠一郎 ,  柏崎 哲夫 ,  東城 徳久
出願人/特許権者： 株式会社小野測器
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-041401
公開番号（公開出願番号）：特開平7-251921
出願日： 1994年03月11日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 基板の基準位置がほとんどずれることなく、かつ、小スペースで基板を反転させ、装置さらにはシステムの小型化を図る。【構成】 この露光システムは、基板の両面に露光を行うものであり、整合・露光部20により基板の第1の面に露光し、搬出・反転部80により基板を反転し、整合・露光部60により基板の第2の面に露光する。上記の反転部は、基板を搬送手段から離反する方向に移動させ、再度所定位置に戻すまでの間において、基板の搬送方向における幅の範囲内で、かつ、基板の基準位置がその前後で少なくとも略一致するように、基板を反転させる。

請求項（抜粋）：

搬送手段により搬送される基板を保持する保持手段と、前記保持手段を、前記搬送手段から離反する方向に移動させる離反手段と、前記離反手段により移動された前記保持手段を、所定位置に戻す復帰手段と、前記離反手段の動作開始から前記復帰手段の動作終了までの間において、前記基板の搬送方向の幅の範囲内で、かつ、前記基板の基準位置がその前後で少なくとも略一致するように、前記保持手段を駆動して前記基板を反転させる反転手段とを備えることを特徴とする反転装置。

IPC (3件)：

B65G 47/248 ,  G03F 7/20 511 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

B65G 47/22 G ,  B65G 47/22 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-016961
  
• 特開平3-042410
  
• 特開昭62-016961
  
• 特開平3-042410