試料ホルダ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅井英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-384773
公開番号（公開出願番号）：特開2003-187735
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】試料をガス雰囲気中で加熱することができる機能を有し、しかも通常の構成の電子顕微鏡にそのまま用いることができる試料ホルダを提供する。【解決手段】試料載置部11には電子ビームを通過させるための開口14が設けられ、その開口14を横切るようにヒータ用ワイヤ17が張架されている。ワイヤ17の両端にはリード線18、19が接続され、このリード線18、19は加熱用電源22に接続される。フレーム12には、その先端がワイヤ17に対向するようにキャピラリーチューブ20が取り付けられる。キャピラリーチューブ20の他端はニードルバルブ21を介して雰囲気ガスのボンベに接続される。検鏡するには、ワイヤ17に粉末試料を付着させる。そして、ワイヤ17に加熱用電源22から通電すると共に、雰囲気ガスのボンベを開け、更にニードルバルブ21を徐々に開ける。これで試料はワイヤ17により加熱されると共に、雰囲気ガスが吹き付けられるので反応が起こる。

請求項（抜粋）：

電子ビームを通過させるための開口が形成された試料載置部と、前記開口の略中央部位を横切るように張架されたヒータ用ワイヤと、前記ヒータ用ワイヤの両端に接続されたリード線と、その先端から吹き出したガスが前記ヒータ用ワイヤに吹き付けられるように、前記ヒータ用ワイヤに対向するように取り付けられたキャピラリーチューブとを備えることを特徴とする試料ホルダ。

IPC (2件)：

H01J 37/20 , G01N 1/28

FI (3件)：

H01J 37/20 E , G01N 1/28 F , G01N 1/28 K

Fターム (16件)：

2G052AD22 , 2G052AD32 , 2G052AD52 , 2G052CA04 , 2G052CA05 , 2G052CA11 , 2G052EB00 , 2G052EB11 , 2G052GA34 , 2G052HA17 , 2G052HA18 , 2G052JA04 , 2G052JA15 , 5C001BB01 , 5C001BB03 , 5C001CC03

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