特許
J-GLOBAL ID：200903058378624359
真空蒸発装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-348226
公開番号（公開出願番号）：特開平6-192823
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月12日
要約：
【要約】【目的】 連続した長尺の電子ビームを安定に得ること。【構成】 線状の電子ビーム8を発生する電子銃16を幅方向に千鳥状に2列複数台並べ、1列目と2列目に印加する加速電圧を変え、同じ均一磁場9中でビーム偏向させて、るつぼ10中で連続した長尺電子ビーム17を得る。
請求項（抜粋）：
真空中で金属等を蒸発させ基板に蒸着等を行なう真空蒸発装置において、線状の電子ビームを発生する電子銃を幅方向に千鳥状に2列複数台並べてなる1列目の電子銃及び2列目の電子銃と、1列目と2列目の電子銃に異なる加速電圧を印加する手段とを備え、同じ均一磁場中でビーム偏向させ、るつぼ中で連続した電子ビームを得ることを特徴とする真空蒸発装置。
IPC (2件)：
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