特許

J-GLOBAL ID：200903058380453197

アドレス線修理構造及び薄膜作像装置に対する方法

発明者： ソールズベリー,ロジャー・スティーヴン
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (1件)： 生沼 徳二
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-517522
公開番号（公開出願番号）：特表平8-507180
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】薄膜作像装置のアドレス線を修理する方法か、第1の導電部品にある開路欠陥、及びこの欠陥に隣接した第1の導電部品の部分を露出するように、選択された修理区域から非導電材料を除去する工程と、その後、導電材料を沈積して、第2の導電部品を形成すると共に、前述の開路欠陥を電気的に架橋するように、第1の導電部品の隣接した露出部分と電気的に接触して配設されている前記選択された修理区域の修理分路を同時に形成する工程とを含んでいる。選択された修理区域を形成するように非導電材料を除去することは、エキシマ・レーザを用いて行われ、所望の寸法及び実質的に平面状の面を有している選択された修理区域を形成することができるようにする。修理分路を形成した後に、修理分路と第2の導電部品との間に配設されている導電材料があれば、その導電材料を除去して、修理分路を第2の導電部品から電気的に隔離する。

請求項（抜粋）：

それぞれのレベルに設けられた複数の導電部品を有している薄膜電子式作像装置であって、 第1のレベルに設けられている損傷を受けた第1の導電部品であって、該第1の導電部品は、内部に欠陥を有しているそれぞれの導電材料で構成されており、前記欠陥は、前記第1の部品の導電材料に開路の不連続性を形成している、損傷を受けた第1の導電部品と、 第2のレベルに設けられており、それぞれの導電材料で構成されている第2の導電部品と、 前記損傷を受けた第1の導電部品にある前記欠陥を電気的に架橋するように前記損傷を受けた第1の導電部品と電気的に接触して設けられており、前記第2の部品の導電材料で構成されている修理分路とを備えた薄膜電子式作像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/146 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/82

FI (3件)：

H01L 27/14 C ,  H01L 21/82 F ,  H01L 21/90 A