特許
J-GLOBAL ID:200903058386388320

ガスセンサ素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 祥泰 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-148305
公開番号(公開出願番号):特開2002-340845
出願日: 2001年05月17日
公開日(公表日): 2002年11月27日
要約:
【要約】【課題】 機械的応力や熱応力による損傷や不良が生じ難く,耐久性に優れ,応答性,早期活性に優れたガスセンサ素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 固体電解質板13と基準ガス室10を備えたスペーサー板14とヒータ基板15とが積層されてなる。基準ガス室10の閉塞端102における角部100は曲面によって構成され,幅方向中心を通り,幅方向と垂直に交わる長手方向に平行な平面に沿った切断面において,角部100の曲率半径は1mm〜20mmである。
請求項(抜粋):
被測定ガスに接する被測定ガス側電極と基準ガスに接する基準ガス側電極とを備えた固体電解質板と,上記基準ガス側電極と対面し,一端が閉塞端で,他端がガスセンサ素子の外部に対して開口した開口端として構成された溝状であり,基準ガスを導入するよう構成された基準ガス室を備えたスペーサー板と,通電により発熱する発熱体を備えたヒータ基板とが積層されたガスセンサ素子であって,上記基準ガス室の閉塞端における角部は曲面によって構成され,上記基準ガス室の幅方向中心を通り,幅方向と垂直に交わる長手方向に平行な平面に沿った切断面において,上記角部の曲率半径は1mm〜20mmであることを特徴とするガスセンサ素子。
IPC (2件):
G01N 27/409 ,  G01N 27/416
FI (4件):
G01N 27/58 B ,  G01N 27/46 381 ,  G01N 27/46 371 G ,  G01N 27/46 331
Fターム (6件):
2G004BB04 ,  2G004BD04 ,  2G004BD05 ,  2G004BE13 ,  2G004BE22 ,  2G004BM07
引用特許:
審査官引用 (4件)
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