特許

J-GLOBAL ID：200903058390794227

極紫外(EUV)線を発生するEUV線源

発明者： ロッコ・エイ・オルシニ ,  マイケル・ビー・ペタッチ ,  マーク・イー・マイケリアン ,  ヘンリー・シールズ ,  ロイ・ディー・マクレガー ,  スティーブン・ダブリュー・フォルナカ
出願人/特許権者： ノースロップ・グラマン・コーポレーション
代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  佐久間 滋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-169006
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165139
出願日： 2003年06月13日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】レーザープラズマ極紫外線源におけるアーキングの発生とノズルの浸食を減少させる。【解決手段】プラズマ30からの放電により線源10のノズル組立体40の材料が蒸発するのを防止する1つ以上の手法を用いる。第1手法は、ガラス製毛管46等の電気絶縁性ノズル端を用いることを含む。管46は、適当な距離だけノズル組立体40のすべての導電性表面を越えて延長し、そのためプラズマに最も接近したノズル組立体40の導電性部分の周囲における圧力は十分低く、アーク放電を誘引しない。第2手法は、真空室壁から線源40の導電性部分を電気的に絶縁させることを含む。第3手法は、ノズル組立体40にバイアス電位52を加えてノズル組立体40の電位をアークの電位まで高めることを含む。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

極紫外(EUV;extreme ultraviolet)線を発生するEUV線源であって、 非導電性部分を含む線源ノズルであって、標的領域に標的材料流れを放射する前記線源ノズルと、 レーザビームを放射するレーザ源であって、前記レーザビームが該標的領域の該標的材料に衝突して該EUV線を放射するプラズマを生じさせる、前記レーザ源とを備え、 該ノズルの前記非導電性部分が、該プラズマにより発生された放電が該ノズルを損傷するのを防止するよう特別に構成されている、EUV線源。

IPC (7件)：

H05G2/00 ,  G03F7/20 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/08 ,  H01L21/027 ,  H05H1/24

FI (8件)：

H05G1/00 K ,  G03F7/20 503 ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/02 X ,  G21K5/08 X ,  G21K5/08 Z ,  H05H1/24 ,  H01L21/30 531S

Fターム (10件)：

2H097AA03 ,  2H097CA01 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB17 ,  4C092AB19 ,  4C092AC09 ,  5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• X線発生方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-232038   出願人：科学技術振興事業団