特許

J-GLOBAL ID：200903058394258001

電子ビーム露光装置および露光方法

発明者： 佐藤 高雅 ,  安田 洋 ,  山田 章夫 ,  甲斐 潤一 ,  大饗 義久 ,  山田 慶二 ,  大嶋 徹
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-337223
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201701
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】 電子ビームを主偏向器により基板上で大きく偏向した場合に生じる電子ビームの変形を補償することを目的とし、【構成】 副偏向器を構成する一対の対向する電極に印加する駆動電圧を、主偏向器による偏向量に対応して所定値だけ増加させ、別の一対の対向する電極に印加する駆動電圧を、前記所定値だけ減少させ構成する。

請求項（抜粋）：

被露光物体(115)を保持する保持手段(114)と;電子ビームを形成し、これを光軸(O)に沿って前記被露光物体に向かって出射する電子ビーム源(101)と;前記電子ビームを前記被露光物体上に縮小して集束する電子光学系(106,107)と;前記電子ビームを偏向させ、前記被露光物体上で動かす偏向手段(111,112)とよりなり、前記被露光物体上に前記電子ビームによりパターンを描画する電子ビーム露光装置において:前記偏向手段は前記電子ビームを前記被露光物体上の主偏向領域(A)において偏向させる主偏向器(111)と、前記電子ビームの前記主偏向領域上における位置を示す主偏向データ(X,Y)を供給されて前記主偏向器を駆動する第1の駆動回路(207)と、前記電子ビームを前記主偏向領域に含まれ前記主偏向領域よりも小さい副偏向領域(115A)において偏向させる副偏向器(112)と、前記電子ビームの前記副偏向領域における位置を示す副偏向データ(DX,DΔX,DY,DΔY)を供給されて前記副偏向器を駆動する第2の駆動回路(208)とよりなり;前記第2の駆動回路は前記主偏向データ(X,Y)に応じて決まる非点収差補正データ(AST)を供給されて、前記静電偏向器を構成する相互に対向した一対の電極板に印加される第1の電圧信号(G(Vx +Δx ))を前記主偏向データに応じて決まる第1の補正量(α)だけ増加させ、前記静電偏向器を構成する相互に対向した別の一対の電極板に印加される第2の電圧信号(G(Vy +Δy))を前記第1の補正量に等しい第2の補正量だけ減少させる非点収差補正手段(208X7 ,208X9 )を有することを特徴とする電子ビーム露光装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 541 E ,  H01L 21/30 541 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭62-065419
  
• 特開昭62-273720
  
• 特開平1-258347
  
• 特開平3-053439
  
• 特開平4-123419