共焦点装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-009991
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206740
出願日： 1997年01月23日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】照射光の走査が不要な共焦点装置を実現する。【解決手段】試料の立体形状を測定する共焦点装置において、光源と、この光源の出力光が照射される開口部と、試料上に開口部の像を結像させ、試料からの反射光を集光する対物レンズと、受光器と、開口部を通過した光を透過させて対物レンズに入射し、対物レンズからの出力光を受光器に反射させるビームスプリッタとを設ける。

請求項（抜粋）：

試料の立体形状を測定する共焦点装置において、光源と、この光源の出力光が照射される開口部と、前記試料上に前記開口部の像を結像させ、前記試料からの反射光を集光する対物レンズと、受光器と、前記開口部を通過した光を透過させて前記対物レンズに入射し、前記対物レンズからの出力光を前記受光器に反射させるビームスプリッタとを備えたことを特徴とする共焦点装置。

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-330412
特開平3-134608
特開平4-330412

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審査官引用 (4件)

特開平4-330412
特開平4-330412
特開平3-134608

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