特許
J-GLOBAL ID:200903058417502746

電子ビ-ム照射装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-013109
公開番号(公開出願番号):特開2000-214299
出願日: 1999年01月21日
公開日(公表日): 2000年08月04日
要約:
【要約】【課題】 電子加速器が故障しても、短い運転停止時間で修理を完了できる電子ビーム照射装置を提供することである。【解決手段】 可動式べ-ス30上に、電子加速器20を構成する加速管22、走査管24、冷却風ヘッダ28と、冷却風ヘッダ28へ冷却風を供給する冷却風ダクト35と冷却ブロワ34とを載置する構成とし、可動式べ-ス30の移動により、遮蔽室10の外部へ故障した電子加速器のみを速やかに搬出する。
請求項(抜粋):
ほぼ真空の内部で発生させた熱電子を加速して電子ビームとする1本以上の加速管と、加速管に真空状態で接続し、加速管からの電子ビームを走査する走査管と、走査管の電子ビーム出射開口部に備えられて真空を維持しつつ電子ビームを透過させる金属製窓箔と、金属製窓箔に備えられ、各金属製窓箔の電子ビーム出射側へ冷却風を吹き付ける送風スリットを有する冷却風ヘッダと、金属製窓箔からの電子ビームを照射される被照射ガスが内部に流れる照射容器と、走査管の少なくとも金属製窓箔部分と照射容器とを内包し、金属製窓箔の電子ビーム照射方向に対して後方位置の壁に開口を有するX線遮蔽室と、X線遮蔽室の開口部に離接可能で走査管近傍に備えられてX線を遮蔽する遮蔽板と、加速管、走査管、冷却風ヘッダを一組とした電子加速手段を保持し、電子加速手段を照射容器の開口部に対して離接可能とする可動式べ-スと、を備えることを特徴とする電子ビーム照射装置。
IPC (2件):
G21K 5/04 ,  H01J 33/00
FI (2件):
G21K 5/04 E ,  H01J 33/00

前のページに戻る