特許

J-GLOBAL ID：200903058419886134

多層膜ミラーおよび多層膜ミラーの製造方法

発明者： 藤井 秀雄
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 増田 達哉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-128255
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305014
出願日： 1998年04月22日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】膜性状および反射特性に優れた多層膜ミラーを提供する。また、このような多層膜ミラーを簡易な方法で効率的に製造する。【解決手段】多層膜ミラー1は、基板2上に形成されたAl薄膜からなる反射膜3の表面に屈折率の異なる薄膜が周期的に積層してなる積層体4が設けられ、前記薄膜は反射膜3を構成する金属と同一金属を含む化合物から構成される。積層体4はAlN薄膜5とAl2 O3 薄膜6とで構成されることが好ましく、各々はイオンアシストまたはイオンプレーティングにより成膜されることが好ましい。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された金属薄膜からなる反射膜の表面に屈折率の異なる薄膜が周期的に積層してなる積層体が設けられた多層膜ミラーであって、前記薄膜は前記反射膜を構成する金属と同一金属を含む化合物から構成されることを特徴とする多層膜ミラー。