特許
J-GLOBAL ID：200903058424276298
レンズアレイの光学性能評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-085688
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272302
出願日： 2000年03月27日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：
【要約】【課題】 管理や取り扱いが容易で、検査条件の変更にも容易に対応でき、レンズアレイ単体の光学性能を精度よく評価できるようにする。【解決手段】 被検査レンズアレイ10の一方のレンズ面に対向するように配置したピンホールアレイ12と、ピンホールアレイの背後から前記レンズアレイに向けて検査光を照明する照明装置14と、スリット16と受光素子18とを有し前記レンズアレイの他方のレンズ面に対向するように配置した受光装置20を具備している。ピンホールアレイは、透明基板26上の遮光膜28に多数のピンホール30を規則的に形成した構造である。少なくとも受光装置をレンズアレイに対して相対的に移動させて、レンズアレイによる空間像の光量分布を測定する。ピンホールアレイは、長尺基板に多数のピンホールを直線的に配列した構造でもよいし、回転円板に多数のピンホールを円周状に配列した構造でもよい。
請求項（抜粋）：
被検査レンズアレイの一方のレンズ面に対向するように配置したピンホールアレイと、該ピンホールアレイの背後から前記レンズアレイに向けて検査光を照明する照明装置と、スリットと受光素子とを有し前記レンズアレイの他方のレンズ面に対向するように配置した受光装置を具備し、前記ピンホールアレイは、透明基板上の遮光膜に多数のピンホールを規則的に形成した構造をなし、少なくとも受光装置をレンズアレイに対して相対的に移動させて、ピンホールのレンズアレイによる空間像の光量分布を測定するようにしたことを特徴とするレンズアレイの光学性能評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 L
, G01M 11/02 B
