特許
J-GLOBAL ID：200903058424568647
両面研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-037680
公開番号（公開出願番号）：特開平6-246622
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：
【要約】【構成】 ディスク状のワークの外周縁を保持する保持ローラ14,19 を支持体11に3箇所でかつ水平軸心回りで回転自在に支持し、各保持ローラ14,19 により回転自在に保持されたワークの両側位置に、ワークの表裏面を研磨する研磨具34を取り付け、かつ各研磨具34における研磨材をクッション材を介して研磨材保持部材に保持させたものである。【効果】 ワークを一個づつ保持して研磨するようにしたので、複数個のワークを一度にバッチ処理するものに比べて、バッチ毎に管理をする必要がなく、またワークの供給および取出し位置の位置決めを行う必要がなく、さらに研磨材はクッション材を介して保持されているため、ワークに対する研磨材加工面のなじみを良好にすることができる。
請求項（抜粋）：
ディスク状の被研磨材の外周部において、このディスク状の被研磨材の外周縁を保持する保持ローラを、支持体に少なくとも3箇所でかつ水平軸心回りで回転自在に支持し、上記各保持ローラにより回転自在に保持されたディスク状の被研磨材の両側位置に、保持体を介して、被研磨材に対して接近離間自在な回転軸体を配置し、この回転軸体の先端部に、被研磨材の表裏面を研磨する研磨具を取り付け、上記回転軸体を回転させる回転駆動装置を設けるとともに、回転軸体を介して上記両研磨具を、被研磨材の表裏面に所定の付勢力で以て押し付けるための押圧装置を設け、かつ上記研磨具を、研磨材と、この研磨材を保持する保持用凹部が形成された研磨材保持部材とから構成するとともに、この研磨材保持部材の保持用凹部と研磨材との間にクッション材を挿入したことを特徴とする両面研磨装置。
IPC (4件)：
B24B 37/04
, B24B 7/17
, B24B 37/00
, G11B 5/84
