特許
J-GLOBAL ID：200903058430670623
液晶ディスプレイ基板の検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-242369
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256793
出願日： 1992年09月10日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【構成】 本発明は、検査対象の液晶ディスプレイ基板1に対向配置される電気光学素子10と、それらの間に電圧を印加するための電源と、電気光学素子に対して光を照射するための光源12と、電気光学素子からの反射光を受光する受光器13と、電気光学素子の背面側において移動自在に設けられた反射鏡30,31とを備え、反射鏡を移動させながら光源からの光を電気光学素子の全面に順次照射するとともにそこからの反射光を順次受光し、反射光の観察によって検知される電気光学素子の光学的性質の変化の状態から液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査するものである。【効果】 液晶ディスプレイ基板の製造工程においてそれ自体の欠陥を検査することが可能となり、液晶表示パネルの歩留まりの向上、低価格化を実現できる。また、反射鏡を移動させて光源からの光を電気光学素子の全面に順次照射していくことにより、大形の液晶基板に対する検査を連続的かつ効率的に行い得る。
請求項（抜粋）：
表面にゲート配線とソース配線と画素電極と薄膜トランジスタとが形成されてなる液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査するための装置であって、前記液晶ディスプレイ基板の表面側に、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素子を微小間隔をおいて対向配置し、その電気光学素子と前記液晶ディスプレイ基板の各画素電極との間に電源により電圧を印加するとともに、前記電気光学素子の背面に対して光源から光を照射してその反射光を受光器により受光して観察するように構成され、かつ、前記電気光学素子の背面側に、前記光源から発せられた光を電気光学素子に向けて反射するとともに電気光学素子からの反射光を前記受光器に向けて反射するための反射鏡を、この電気光学素子の背面に沿って移動自在に設けてなることを特徴とする液晶ディスプレイ基板の検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01M 11/00
, G01R 31/00
