特許
J-GLOBAL ID：200903058431027597
分極反転領域の製造方法ならびにそれを利用した光波長変換素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217854
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220578
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【課題】 高効率かつ短波長の光波長変換素子を製造するために、短周期で且つ深い分極反転領域を、基板の大面積に渡って均一に形成する。【解決手段】 基板の表面に櫛形電極を、裏面には平面電極を形成する。そして、直流電源とパルス電源とを用いて電極にパルス電圧が重畳した直流電圧を印加して、基板にパルス電界が重畳した直流電界を印加する。これにより、小さいパルス電界の印加で周期状の分極反転領域が形成できる。印加電界の基板面内における均一性が高いので、均一な周期構造を有する分極反転領域が形成される。あるいは、櫛形電極を絶縁膜で覆った上で、パルス電源を用いて電極にパルス電圧を印加して、基板にパルス電界を印加する。これにより、結晶表面の自由電荷の移動が抑制されて分極反転の横方向への拡大が抑えられ、均一且つ短周期の分極反転構造が形成される。
請求項（抜粋）：
強誘電体結晶基板の分極方向にお互いに離れた第1及び第2の電極を形成する工程と、該第1及び第2の電極間に直流電圧を印加する工程と、該直流電圧にパルス電圧を重畳して、該直流電圧と該パルス電圧との合計電圧を該第1及び第2の電極に印加して、該強誘電体結晶基板の内部の所定の領域の分極を反転させる工程と、を包含する分極反転領域の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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