窒化アルミニウム質セラミックヒータ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-046508
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251039
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウム質セラミックス2中に埋設する抵抗発熱体4の抵抗温度係数を下げることにより、大型の電源供給装置や配線設備を導入することなく、PID制御によって発熱面3の均一な温度制御ができるようにする。【解決手段】窒化アルミニウム質セラミックス2中に埋設する抵抗発熱体4を、周期律表第4a、5a、6a族元素のうち1種以上の金属成分とその金属炭化物とから構成するとともに、X線回折により測定される上記金属成分のメイン強度ピーク(I1 )の和と上記金属炭化物のメイン強度ピークの和との比率(I2 /I1 )を0.9〜6.0として窒化アルミニウム質セラミックヒータ1を構成する。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム質セラミックス中に抵抗発熱体を埋設してなるセラミックヒータにおいて、上記抵抗発熱体は、周期律表第4a、5a、6a族元素のうち1種以上の金属成分とその金属炭化物とからなり、X線回折により測定される上記金属成分のメイン強度ピーク(I1 )の和と、上記金属炭化物のメイン強度ピークの和との比率(I2 /I1 )が0.9〜6.0であることを特徴とする窒化アルミニウム質セラミックヒータ。

IPC (6件)：

H05B 3/18 , H01L 21/324 , H01L 21/68 , H05B 3/14 , H05B 3/20 377 , H05B 3/20 393

FI (6件)：

H05B 3/18 , H01L 21/324 K , H01L 21/68 N , H05B 3/14 B , H05B 3/20 377 , H05B 3/20 393

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