多光源形成反射鏡の製造方法及び該反射鏡を用いた光学装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-268756
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098114
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【解決すべき課題】所定の面形状を繰り返し配列してなる、多光源形成反射鏡を製造する場合、所定の形状を有する基本反射鏡(要素反射素子)を個々に形成しても、それらを組み合わせて多光源形成反射鏡に仕上げる手段が無かった。それによって、スループットの良い、反射型の投影露光系を用いた半導体露光装置を実現することが出来なかった。本発明は、光利用効率の良い、多光源形成反射鏡を精度良く、安価に製造し、それによって、スループットの良い半導体露光装置を提供することを目的にする。【解決手段】基本反射鏡の裏面に調整部材を設け、多光源形成反射鏡の基盤に基準部材を設けて組み合わせるだけで形成できるようにする。

請求項（抜粋）：

所定の曲面の一部を面形状とする基本反射面を繰り返し配置してなる多光源形成反射鏡の製造方法であって、表面は所定の面形状を有し、且つ表面粗さが所定の値以下である基本反射面を有し、裏面は位置合わせの用の基準面を有する、小さな基本反射鏡を複数個作成する工程と、基本反射鏡を組み上げる基盤材に基準面を形成する工程と、各基本反射鏡の裏面に形成された基準面と、基盤材に形成された基準面を合わせることによって基本反射鏡を組み上げる工程と、を有することを特徴とした多光源形成反射鏡の製造方法。

IPC (5件)：

G02B 5/10 , B24B 13/00 , G02B 17/00 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (6件)：

G02B 5/10 C , B24B 13/00 , G02B 17/00 Z , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 517

Fターム (37件)：

2H042DA01 , 2H042DA02 , 2H042DA10 , 2H042DA18 , 2H042DC02 , 2H042DC09 , 2H042DC10 , 2H042DD01 , 2H042DD08 , 2H042DE07 , 2H087KA21 , 2H087NA04 , 2H087NA05 , 2H087TA00 , 2H087TA02 , 3C049AA04 , 3C049AA09 , 3C049AA11 , 3C049AA12 , 3C049AA19 , 3C049AB04 , 3C049CA01 , 3C049CA04 , 3C049CB03 , 3C049CB04 , 5F046AA05 , 5F046AA07 , 5F046AA08 , 5F046BA05 , 5F046CA04 , 5F046CA08 , 5F046CB03 , 5F046CB23 , 5F046CB24 , 5F046DB05 , 5F046DC05 , 5F046DC12

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