走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-164335
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352553
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】粘弾性体を半硬化状態に維持する必要がなく、かつ分解能を向上できる走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。【解決手段】探針10を原子間力の作用する試料32の表面の領域まで近付けるZ軸粗動動作を終了すると、該加熱コイル16に流す電流は遮断され、粘弾性体17は自然冷却される。この自然冷却によりスキャナは熱収縮するが、スキャナの微動制御を中立状態(ボイスコイル6に流す電流が0の状態)に維持して、電源電圧制御部44から、該PI制御部43からの制御信号に対応した電圧を、積層圧電セラミックス等で構成された試料高さ調整装置34に供給し、探針10と試料32との距離が常に一定となるように、試料高さ調整装置34の高さを制御する。時間が経過して、熱的な平衡状態に達し、スキャナ長の収縮が止まったら、試料高さ調整装置34を固定し、スキャナ側の微動制御に切り替える。

請求項（抜粋）：

温度により粘性が変化する粘弾性体を有する粗動機構を搭載した走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置において、試料を載置し、これを上下動させる試料高さ調整装置と、Z軸粗動終了時に該粘弾性体の加熱を停止する手段と、Z軸粗動終了後のZ軸変位オフセット量を測定し、該Z軸変位オフセット量を相殺するように前記試料高さ調整装置を制御する制御装置とを具備したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去装置。

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