特許
J-GLOBAL ID：200903058441487936
粒子発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-133729
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347384
出願日： 1993年06月04日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 粒子発生装置に関し, 等濃度の粒子を広範囲に発生させ, また濃度を可変にできるようにすることを目的とする。【構成】 1)粒子懸濁液を取り込み噴霧する加圧噴霧器 1と, 噴霧された懸濁液と清浄気体を混合して粒子を含む混合気を生成する混合器 3と, 試料雰囲気内に拡散板 8を通して該混合気を送り出す粒子発生口 5とを有し, 該拡散板が複数の開口を有する平板で構成されている,2)大気塵をフィルタ12を通して取り込んだ空気を送出する手段13と該手段の空気送出量を調節する手段14とを有し, 該手段により送出された空気を拡散板15を通して試料雰囲気内に供給する大気塵希釈装置であって, 該拡散板が複数の開口を有する平板で構成されているように構成する。
請求項（抜粋）：
粒子懸濁液を取り込み噴霧する加圧噴霧器(1) と, 噴霧された懸濁液と清浄気体を混合して粒子を含む混合気を生成する混合器(3)と, 試料雰囲気内に拡散板(8) を通して該混合気を送り出す粒子発生口(5) とを有し, 該拡散板が複数の開口を有する平板で構成されていることを特徴とする粒子発生装置。
IPC (3件)：
G01N 1/00 102
, G01N 1/00
, G01N 1/28
