特許

J-GLOBAL ID：200903058443536985

静電型スイッチ素子

発明者： 枚田 明彦 ,  町田 克之 ,  前田 正彦 ,  久良木 億 ,  秋谷 秀夫
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050594
公開番号（公開出願番号）：特開平11-250792
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】 静電型スイッチ素子の専有面積を縮小し、かつ、その駆動電圧を低減できるようにする。【解決手段】 支持板110に固定された可動部分は、接続部109a,109a’に固定された支持梁(第1の梁部材)107aと接続部109b,109b’に固定された支持梁107(第2の梁部材)bとに連結梁(第1,2の連結部材)108a,108bを介して2方向から支持されている。

請求項（抜粋）：

基板上に固定された固定吸引電極と、前記固定吸引電極に対向してかつ離間して配置された可動吸引電極と、前記基板上に前記固定吸引電極から離間して配置された固定接点電極と、前記固定接点電極上に対向してかつ離間して配置された可動接点電極と、前記可動吸引電極と前記可動接点電極を支持する第1の支持部材と、前記第1の支持部材の対向する部分で前記可動吸引電極および前記第1の支持部材に接続された第2および第3の支持部材とを備え、前記第2および第3の支持部材のそれぞれは、少なくとも一端が前記基板に固定された短冊状の第1および第2の梁部材と、前記第1および第2の梁部材の一部で前記可動吸引電極および前記第1の支持部材と連結される矩形状の第1および第2の連結部材とからなり、前記第1および第2の連結部材と前記第1および第2の梁部材とのそれぞれの接続部分の長さは、その接続部分と平行な前記可動吸引電極の長さより短くされていることを特徴とする静電型スイッチ素子。